186 0621 7120
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• 厚度测量范围 0-1000µm
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• 测量厚度重复性精度 ±0.2-0.5µm
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• 扫描速度 ≤200mm/s
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• 扫描速度：80mm/S
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• 测量长度重复性精度 ±0.1mm
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• 样片长度 ≤2000mm
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• 量具GR&R%（SV%） ≤10%
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• 样片宽度 30-750mm
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• 量具线性R-sq% ≥90%
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